电子束曝光机

eLINE Plus是一种超高分辨的电子束曝光系统和适合多领域多应用的纳米加工平台。将先进电子束曝光、纳米工程和超高分辨成像/度量完美融合，创新性地将eLINE Plus打造成为模块化可扩展的研究工作。它是唯一的成功地在"经典强大"的电子束光刻上结合其他多种应用工具的电子束光刻系统，同时对任何的光刻指标不造成影响。而且，eLINE Plus作为科研型机器推动着器件/硅片级电子束曝光性能。