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太赫兹扫描近场光学显微镜
发布时间:2019-06-30 来源:
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太赫兹近场系统

1,该孔径的近场显微镜可用于测量表面电场,相位,方阻分布

2,官方宣称使用频率为0.05-4THz,但实际使用频率在0.2到2THz之间效果可以

3,从发表的文章看,测量时探针需距离样品较近,至少5µm左右时测量效果才行,但是形貌扫描时电机移动的误差也在微米量级,因此非常容易撞断探针,特别对于表面起伏较大的样品应该尽量放置平整

4,测量时分辨率最高也只有4.9µm(探针距样品1µm,官网未出售,我们有的探针分辨率能到10µm),所以设计结构的线宽至少需要在20µm以上